Сканирующий ионный гелиевый микроскоп

Петров, Ю. В.


	Наукова періодика України		Наука та інновації

Петров Ю. В.
Сканирующий ионный гелиевый микроскоп / Ю. В. Петров // Наука та інновації. - 2012. - Т. 8, № 2. - С. 23-25. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/scinn_2012_8_2_6

This article describes the experience of using helium microscope ORION (Carl Zeiss) at the Interdisciplinary Resource Center of "Nanotechnology" (St. Petersburg, Russia). Author discusses the formation and stability of helium single atom source, the processes of interaction of helium ions with the investigated substance, describes the possibility of applying helium ion microscopy and lithography.

Повний текст PDF - 124.706 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Петров Ю.

Бібліографічний опис для цитування:

Петров Ю. В. Сканирующий ионный гелиевый микроскоп / Ю. В. Петров // Наука та інновації. - 2012. - Т. 8, № 2. - С. 23-25. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/scinn_2012_8_2_6.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Петров Юрій Васильович (філософські науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача