Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития

Сторижко, В. Е.; Мирошниченко, В. И.; Пономарев, А. Г.


	Наукова періодика України		Наука та інновації

Сторижко В. Е.
Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития / В. Е. Сторижко, В. И. Мирошниченко, А. Г. Пономарев // Наука та інновації. - 2012. - Т. 8, № 2. - С. 17-22. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/scinn_2012_8_2_5

The application of focusing beams of protons with MeV energy in fabrication technology of micro- and nano-dimension structures is considered. Difference features of energetic protons interaction with resistive materials are shown. The representation about state of the art of technology of proton beam lithography is given and prospects of its development are formulated.

Повний текст PDF - 215.531 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Сторижко В.

Мирошниченко В.

Пономарев А.

Бібліографічний опис для цитування:

Сторижко В. Е. Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития / В. Е. Сторижко, В. И. Мирошниченко, А. Г. Пономарев // Наука та інновації. - 2012. - Т. 8, № 2. - С. 17-22. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/scinn_2012_8_2_5.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача