Применение метода спектральной интерферометрии для измерения микро- и нанорасстояний

Лукин, К. А.; Мачехин, Ю. П.; Данаилов, М. Б.; Татьянко, Д. Н.


	Наукова періодика України		Радіофізика та електроніка

Лукин К. А.
Применение метода спектральной интерферометрии для измерения микро- и нанорасстояний / К. А. Лукин, Ю. П. Мачехин, М. Б. Данаилов, Д. Н. Татьянко // Радиофизика и электроника. - 2011. - Т. 2(16), № 1. - С. 39-45. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/rphre_2011_2%2816%29_1_8

Представлены результаты исследований оптической интерферометрии на основе низкокогерентных источников излучения вне зоны когерентности. Показано, что когда разность плеч интерферометра Майкельсона превышает длину когерентности излучения светодиода, явление спектральной интерференции обеспечивает абсолютные измерения микро- и нанорасстояний в соответствии со временем задержки и относительной фазой между опорным и зондирующим сигналами.

Повний текст PDF - 646.621 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Лукин К. А. Применение метода спектральной интерферометрии для измерения микро- и нанорасстояний / К. А. Лукин, Ю. П. Мачехин, М. Б. Данаилов, Д. Н. Татьянко // Радиофизика и электроника. - 2011. - Т. 2(16), № 1. - С. 39-45. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/rphre_2011_2(16)_1_8.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Мачехін Юрій Павлович (1949–) (технічні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача