В наш час дослідження та розробка гетеропереходів проводять у напрямках пошуку нових композицій метал-арсенід галію, розробки технологічних режимів, які змогли б забезпечити відтворюваність параметрів НВЧ приладів з бар'єрами Шотткі. Срібло у порівнянні з золотом має більшу тепло- та електропровідність, відносно невеликий коефіцієнт дифузії в арсенід галію, що дозволяє зменшити товщину перехідного шару. Перехід до металізації на основі срібла повинен підвищити технічні характеристики виробів. Розробка технологічних режимів виготовлення покращених гетеропереходів до GaAs на основі срібла є актуальною з наукової та практичної точок зору. Мета роботи - встановлення впливу термічної обробки на реальні вольтамперні характеристики та величину коефіцієнту інжекції гетеропереходу Ag/n-n+GaAs. Метод виготовлення гетеропереходів - термічне випаровування у вакуумі. Розрахунок параметрів гетеропереходу за методом вольтамперних характеристик. Рекомендований режим хімічної обробки GaAs-підкладки. Досліджено вплив термічної обробки на параметри та характеристики гетеропереходів Ag/n-n+GaAs. Досліджено вплив висоти бар'єру на величину коефіцієнту інжекції. Розглянуто та апробовано різні методи визначення висоти бар'єру Шотткі та фактору неідеальності з вольтамперних характеристик. Висновки: встановлено, що підвищення температури відпалу до 803 К дає найбільше значення висоти бар'єру <$E phi sub b> для гетеропереходу Ag/n-n+GaAs з концентрацією донорів в епітаксійному шарі <$E N sub D ~=~2~cdot~10 sup 16~roman см sup -3>. Встановлено, що найбільш точним методом визначення параметрів гетеропереходу з вольтамперної характеристики є метод direct approximation, який враховує вплив послідовного опору при визначенні фактору неідеальності та висоти бар'єру Шотткі. Розраховані коефіцієнти інжекції <$E gamma> для гетеропереходів з різною висотою бар'єру Шотткі, отриманих при різних температурах відпалу, мають дуже малі значення, тому інжекцією дірок можна знехтувати.

  Повний текст PDF - 2.046 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"