Особливості побудови системи електроживлення інверсної магнетронної розпорошувальної системи для формування багатокомпонентних покриттів (спосіб управління процесом розпорошення та його практична реалізація)

Литовченко, Л. В.; Колесник, В. П.; Чугай, О. М.; Бояркін, А. О.; Слюсар, Д. В.; Степанушкін, М. П.; Олійник, С. В.

На основі аналізу літературних даних щодо засобів забезпечення необхідного ресурсу деталей машин та механізмів показана необхідність застосування в машинобудуванні функціональних покриттів, які можуть утворюватися багатьма шарами та мати в своєму складі цілу низку компонентів. Існуючі технології та відповідне обладнання потребують попереднього виготовлення сплавів, з яких формуються покриття. Це суттєво обмежує керування складом покриттів. Показано перевагу над існуючими іонно-плазмових технологій, розроблених в Національному аерокосмічному університеті ім. М. Є. Жуковського "Харківський авіаційний інститут". Зокрема, завдяки розпорошенню великої кількості катодів-мішеней ці технології дозволяють формувати багатокомпонентні покриття практично будь-якого складу. При реалізації іонно-плазмових технологій формування покриттів визначальну роль відіграє генератор потоку частинок матеріалу покриття. З метою вдосконалення системи електроживлення такого генератора запропоновано здійснювати подавання напруги до кожного елемента генератора через ланцюжок резисторів, загальний опір якого регулюється системою управління за відповідною програмою. Такий підхід до вдосконалення системи електроживлення технологічного генератора матеріалу покриття втілено в життя в розробленій лабораторній дослідно-промисловій технологічній установці для формування модельного покриття з карбіду вольфраму. Розглянуто дві можливі схеми створення резистивних ланцюжків, опір яких регулюється. Обрано схему, яка складається з найменшої кількості елементів. Встановлено важливу роль будь-якого резистивного ланцюжка в функціонуванні системи управління технологічним генератором. Запропоновано оптимальний варіант вибору номіналів опорів резисторів, що входять до складу ланцюжка. Проведений авторами аналіз експериментальних даних свідчить про те, що кожен такий ланцюжок повинен мати індивідуальні особливості, зокрема, межі та крок зміни опору, максимальну потужність теплових втрат. Ці та інші параметри, як правило, визначаються експериментально.


	Наукова періодика України		Радіоелектронні і комп’ютерні системи