Дьяченко Л. И.
Информационная технология для анализа подсистемы дефектов выращивания полупроводниковых кристаллов / Л. И. Дьяченко, Е. В. Минов, С. Э. Остапов, П. М. Фочук, Ю. Б. Халавка // Радіоелектронні і комп’ютерні системи. - 2015. - № 4. - С. 88–95. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/recs_2015_4_15
Предложена новая информационная технология для обработки и анализа подсистемы дефектов выращивания полупроводниковых кристаллов. На основании набора микрофотографий информационная система строит трехмерное изображение полупроводникового кристалла и выводит статистическую информацию о количестве и размерах найденных в кристалле дефектов. Разработан модуль, позволяющий генерировать эталонный набор инфракрасных фотографий для оценки качества распознавания реальных полупроводниковых кристаллов. Проанализированы результаты работы информационной системы о качестве кристаллов и возможной области их применения.
Цитованість авторів публікації:Дьяченко Л.Минов Е.
Остапов С.
Фочук П.
Халавка Ю.
Бібліографічний опис для цитування:
Дьяченко Л. И. Информационная технология для анализа подсистемы дефектов выращивания полупроводниковых кристаллов / Л. И. Дьяченко, Е. В. Минов, С. Э. Остапов, П. М. Фочук, Ю. Б. Халавка // Радіоелектронні і комп’ютерні системи. - 2015. - № 4. - С. 88–95. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/recs_2015_4_15.
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)Фочук Петро Михайлович (хімічні науки)Халавка Юрій Богданович (1983–) (хімічні науки)
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити
"Анкету науковця"
|
Повний текст PDF - 886.891 Kb 
Зміст випуску 
Цитування публікації
Пам`ятка користувача