Наукова періодика України Радіоелектронні і комп’ютерні системи


Борзяк Н. Г. 
Измерительный преобразователь давления на основе ударного возбуждения электростатического MEMS-преобразователя / Н. Г. Борзяк // Радіоелектронні і комп’ютерні системи. - 2009. - № 4. - С. 47–51. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/recs_2009_4_8
Предложен принципиально новый подход к реализации измерительного преобразователя (ИП) давления, основным отличием которого является использование режима ударного возбуждения электростатического MEMS-преобразователя. Разработан алгоритм построения градуировочных характеристик и предложена модель ИП давления на базе теории преобразователей А. А. Харкевича с учетом демпфирования за счет пленки газа в межэлектродном зазоре. Смоделирован сигнал на выходе ИП давления, проведена его обработка с помощью предложенной модели, получены градуировочные характеристики. Установлены зависимости влияния конструктивных параметров ИП на градуировочные характеристики.
  Повний текст PDF - 635.961 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Борзяк Н.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Борзяк Н. Г. Измерительный преобразователь давления на основе ударного возбуждения электростатического MEMS-преобразователя / Н. Г. Борзяк // Радіоелектронні і комп’ютерні системи. - 2009. - № 4. - С. 47–51. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/recs_2009_4_8.

      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського