Бібліографічний опис для цитування:
Komarov F. Phase Transformation in the Annealed Si-Rich SiNx Films Studied by Raman Scattering / F. Komarov, L. A. Vlasukova, I. N. Parkhomenko, O. V. Milchanin, A. K. Togambaeva, S. Yu. Udovichenko, K. V. Misiyuk // Proceedings of the International Conference Nanomaterials: Applications and Properties. - 2014. - Vol. 3, no. 1. - С. 01NTF25-01NTF25. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/princon_2014_3_1_43.Відділ інформаційно-комунікаційних технологій |
Пам`ятка користувача |
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |