Effect of Added Nitrogen on Properties of SiCN Films Prepared by PECVD Using Hexamethyldisilazane

Porada, A. K.; Kozak, A. O.; Ivashchenko, L. A.; Ivashchenko, V. I.; Tomila, T. V.


	Наукова періодика України		Proceedings of the International Conference Nanomaterials: Applications and Properties

Porada A. K.
Effect of Added Nitrogen on Properties of SiCN Films Prepared by PECVD Using Hexamethyldisilazane / A. K. Porada, A. O. Kozak, L. A. Ivashchenko, V. I. Ivashchenko, T. V. Tomila // Proceedings of the International Conference Nanomaterials: Applications and Properties. - 2013. - Vol. 2, no. 2. - С. 02FNC11-02FNC11. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/princon_2013_2_2_59

Повний текст PDF - 443.043 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Porada A. K. Effect of Added Nitrogen on Properties of SiCN Films Prepared by PECVD Using Hexamethyldisilazane / A. K. Porada, A. O. Kozak, L. A. Ivashchenko, V. I. Ivashchenko, T. V. Tomila // Proceedings of the International Conference Nanomaterials: Applications and Properties. - 2013. - Vol. 2, no. 2. - С. 02FNC11-02FNC11. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/princon_2013_2_2_59.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Козак Андрій Олександрович (фізико-математичні науки)

Іващенко Людмила Андріївна (технічні науки)

Іващенко Володимир Іванович (1956–) (фізико-математичні науки)

Томила Тамара Василівна (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача