Influence of Substrate Temperature on the Optical Properties and the Deposition rate of Amorphous Silicon Films

Zamchiy, A. O.; Khmel’, S. Ya.; Baranov, E. A.


	Наукова періодика України		Proceedings of the International Conference Nanomaterials: Applications and Properties

Zamchiy A. O.
Influence of Substrate Temperature on the Optical Properties and the Deposition rate of Amorphous Silicon Films / A. O. Zamchiy, S. Ya. Khmel’, E. A. Baranov // Proceedings of the International Conference Nanomaterials: Applications and Properties. - 2012. - Vol. 1, no. 4. - С. 04PITSE05-04PITSE05. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/princon_2012_1_4_40

Повний текст PDF - 1.227 Mb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Zamchiy A.

Khmel’ S.

Baranov E.

Бібліографічний опис для цитування:

Zamchiy A. O. Influence of Substrate Temperature on the Optical Properties and the Deposition rate of Amorphous Silicon Films / A. O. Zamchiy, S. Ya. Khmel’, E. A. Baranov // Proceedings of the International Conference Nanomaterials: Applications and Properties. - 2012. - Vol. 1, no. 4. - С. 04PITSE05-04PITSE05. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/princon_2012_1_4_40.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача