Наукова періодика України Оптоелектроніка та напівпровідникова техніка


Сукач А. В. 
Електричні та фотоелектричні властивості гетеропереходів a-SiCN/c-Si / А. В. Сукач, В. В. Тетьоркін, В. І. Іващенко, О. К. Порада, А. О. Козак, А. І. Ткачук, А. Т. Ворощенко // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2013. - Вып. 48. - С. 96-104. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/ont_2013_48_10
Встановлено домінуючі механізми перенесення заряду в гетеропереходах a-SiCN/c-Si в інтервалі температур 196 - 353 К, виготовлених плазмохімічним способом при порівняно низьких (Т << 300 <$E symbol Р>C) температурах осадження аморфних шарів a-SiCN на кристалічні підкладки c-Si з дірковим типом провідності. З'ясовано роль гетеромежі у механізмах перенесення зяряду та фоточутливості гетеропереходів. Виконано оцінки основних електрофізичних параметрів шарів a-SiCN. Показано, що прямі ВАХ пояснюються у межах теорії монополярної інжекції з рівномірним розподілом пасток за енергією. Зворотні ВАХ зумовлені вкладом генераційно-рекомбінаційної та тунельно-рекомбінаційної компонент. Фоточутливість гетеропереходів пояснюється локалізацією активної області виключно в p-Si.
  Повний текст PDF - 292.388 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Сукач А.
  • Тетьоркін В.
  • Іващенко В.
  • Порада О.
  • Козак А.
  • Ткачук А.
  • Ворощенко А.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Сукач А. В. Електричні та фотоелектричні властивості гетеропереходів a-SiCN/c-Si / А. В. Сукач, В. В. Тетьоркін, В. І. Іващенко, О. К. Порада, А. О. Козак, А. І. Ткачук, А. Т. Ворощенко // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2013. - Вып. 48. - С. 96-104. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/ont_2013_48_10.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Тетьоркін Володимир Володимирович (фізико-математичні науки)
  • Іващенко Володимир Іванович (1956–) (фізико-математичні науки)
  • Порада Олександр Карпович (технічні науки)
  • Козак Андрій Олександрович (фізико-математичні науки)
  • Ткачук Андрій Іванович (технічні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського