Наукова періодика України Оптоелектроніка та напівпровідникова техніка

Павлович И. И. 
Химико-механическое полирование кристаллов твердых растворов на основе теллуридов висмута и сурьмы бромвыделяющими композициями / И. И. Павлович, В. Н. Томашик, З. Ф. Томашик, И. Б. Стратийчук, А. И. Копыл // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2011. - Вып. 46. - С. 68-73. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/ont_2011_46_10
Исследован процесс химико-механического полирования (ХМП) поверхности полупроводниковых кристаллов Bi2Te3 и твердых растворов n-(Bi2Te3)0,9(Sb2Te3)0,05(Sb2Se3)0,05 и p-(Bi2Te3)0,25(Sb2Te3)0,72(Sb2Se3)0,03 бромвыделяющими травителями. Изучены зависимости скоростей ХМП от разбавления базового полирующего травителя органическими компонентами, а также состояние поверхности после полирования. Оптимизированы составы полирующих смесей и режимы проведения операций для формирования высококачественной полированной поверхности.
  Повний текст PDF - 484.973 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Павлович И.
  • Томашик В.
  • Томашик З.
  • Стратийчук И.
  • Копыл А.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Павлович И. И. Химико-механическое полирование кристаллов твердых растворов на основе теллуридов висмута и сурьмы бромвыделяющими композициями / И. И. Павлович, В. Н. Томашик, З. Ф. Томашик, И. Б. Стратийчук, А. И. Копыл // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2011. - Вып. 46. - С. 68-73. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/ont_2011_46_10.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського