Наукова періодика України Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології

Кравченко С. Ю. 
Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. - 2011. - № 1. - С. 127-135. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/oeiet_2011_1_19
Розглянуто питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. Проаналізовано принципи побудови таких систем та перспективи їх використання за технологічних умов.
  Повний текст PDF - 1.007 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Кравченко С.
  • Кравченко Ю.
  • Осадчук В.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Кравченко С. Ю. Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. - 2011. - № 1. - С. 127-135. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/oeiet_2011_1_19.
    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Осадчук Владимир Степанович (технічні науки)
    •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського