Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах

Гончаров, А. А.; Юнда, А. Н.; Зыков, А. В.; Фареник, В. И.; Шелест, И. В.; Буранич, В. В.


	Наукова періодика України		Журнал фізики та інженерії поверхні

Гончаров А. А.
Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах / А. А. Гончаров, А. Н. Юнда, А. В. Зыков, В. И. Фареник, И. В. Шелест, В. В. Буранич // Журнал фізики та інженерії поверхні. - 2017. - Т. 2, № 2-3. - С. 105-114. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jsphen_2017_2_2-3_7

Повний текст PDF - 182.866 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Гончаров А. А. Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах / А. А. Гончаров, А. Н. Юнда, А. В. Зыков, В. И. Фареник, И. В. Шелест, В. В. Буранич // Журнал фізики та інженерії поверхні. - 2017. - Т. 2, № 2-3. - С. 105-114. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jsphen_2017_2_2-3_7.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача