Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии

Калиниченко, А. И.; Перепёлкин, С. С.; Стрельницкий, В. Е.


	Наукова періодика України		Журнал фізики та інженерії поверхні

Калиниченко А. И.
Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии / А. И. Калиниченко, С. С. Перепёлкин, В. Е. Стрельницкий // Журнал фізики та інженерії поверхні. - 2016. - Т. 1, № 4. - С. 338-345. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jsphen_2016_1_4_3

Повний текст PDF - 974.676 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Калиниченко А.

Перепёлкин С.

Стрельницкий В.

Бібліографічний опис для цитування:

Калиниченко А. И. Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии / А. И. Калиниченко, С. С. Перепёлкин, В. Е. Стрельницкий // Журнал фізики та інженерії поверхні. - 2016. - Т. 1, № 4. - С. 338-345. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jsphen_2016_1_4_3.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача