Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного разпыливания

Першин, Ю. П.; Девизенко, А. Ю.; Мамон, В. В.; Чумак, В. С.; Кондратенко, В. В.


	Наукова періодика України		Журнал фізики та інженерії поверхні

Першин Ю. П.
Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного разпыливания / Ю. П. Першин, А. Ю. Девизенко, В. В. Мамон, В. С. Чумак, В. В. Кондратенко // Журнал фізики та інженерії поверхні. - 2016. - Т. 1, № 1. - С. 27-41. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jsphen_2016_1_1_7

Повний текст PDF - 1.977 Mb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Першин Ю. П. Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного разпыливания / Ю. П. Першин, А. Ю. Девизенко, В. В. Мамон, В. С. Чумак, В. В. Кондратенко // Журнал фізики та інженерії поверхні. - 2016. - Т. 1, № 1. - С. 27-41. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jsphen_2016_1_1_7.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Першин Юрій Павлович (фізико-математичні науки)

Чумак Віталій Сергійович (технічні науки)

Кондратенко Валерій Володимирович (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача