Наведено результати рентгенографічного дослідження наноструктур карбіду кремнію, синтезованих за допомогою методу мікрохвильового хімічного пароутворення (MWCVD). Мідні плівки, нанесені за методом магнетронного розпилення, використовувалися як каталізатори. Експерименти проводили за різних температур від 600 до <$E900~symbol Р roman C> (з кроком <$E100~symbol Р roman C>). SEM дослідження зразків показали, що наноструктури мають діаметр 180 - 400 нм і довжину від 670 нм до 1,5 мкм. З досліджень скануючою електронною мікроскопією видно, що синтезовані наноструктури мають шорстку поверхню. На підставі аналізу результатів експериментів з синтезу наноструктур карбіду кремнію за допомогою методу MWCVD показано, що зростання наноструктур починається від <$E700~symbol Р roman C>. Підкреслено, що інтенсивність піку SiC зростає зі збільшенням температури синтезу. Крім того, за збільшення температури синтезу можна помітити, що з'являються піки наступного відбиття, характерні для карбіду кремнію. Результати рентгенівського аналізу показали, що зразки, вирощені за температури <$E900~symbol Р roman C>, мають найвищу ступінь кристалічності. За результатами досліджень з використанням методів скануючої електронної мікроскопії і рентгенівського аналізу встановлено, що в ході експериментів, крім наноструктур карбіду кремнію, було одержано різні вуглецеві форми. Таким чином, за температури <$E600~symbol Р roman C> утворюються аморфні вуглецеві плівки, а за <$E700~symbol Р roman C> утворюються наноструктури карбіду кремнію.

  Повний текст PDF - 499.961 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"