Проведено дослідження моделювання постійного, змінного та перехідного струмів кантілівера ME MS. У роботі змодельовано прямокутну систему відкритого типу. У даному випадку автори змінювали довжину кантілівера MEMS (платиновий електрод) і вивчали його вилив у наступних випадках: вплив напруги на ємність і положення променю (аналіз постійного струму), положення променю у часовій області, ємність і напруга (аналіз змінного струму) та положення променю у часовій області, ємність і напруга (аналіз перехідних процесів). Результати показали, що довжина активного електрода кантілівера MEMS значно впливає на проду ктивність MEMS. Крім того, напруга на кантілівер і MEMS лінійно зростає з часом і виявилося, що вона не залежить від довжини електрода і діелектричних матеріалів, які використовувалися в розглянутій системі.

  Повний текст PDF - 2.789 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"