Наукова періодика України | Journal of Nano- and Electronic Physics | ||
Khot S. S. DC, AC, and Transient Simulation Study of MEMS Cantilever / S. S. Khot, A. A. Patil, V. N. Mokashi, P. P. Waifalkar, K. V. More, R. K. Kamat, T. D. Dongale // Journal of nano- and electronic physics. - 2019. - Vol. 11, no. 2. - С. 02015-1-02015-4. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnep_2019_11_2_17 Проведено дослідження моделювання постійного, змінного та перехідного струмів кантілівера ME MS. У роботі змодельовано прямокутну систему відкритого типу. У даному випадку автори змінювали довжину кантілівера MEMS (платиновий електрод) і вивчали його вилив у наступних випадках: вплив напруги на ємність і положення променю (аналіз постійного струму), положення променю у часовій області, ємність і напруга (аналіз змінного струму) та положення променю у часовій області, ємність і напруга (аналіз перехідних процесів). Результати показали, що довжина активного електрода кантілівера MEMS значно впливає на проду ктивність MEMS. Крім того, напруга на кантілівер і MEMS лінійно зростає з часом і виявилося, що вона не залежить від довжини електрода і діелектричних матеріалів, які використовувалися в розглянутій системі. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Khot S. S. DC, AC, and Transient Simulation Study of MEMS Cantilever / S. S. Khot, A. A. Patil, V. N. Mokashi, P. P. Waifalkar, K. V. More, R. K. Kamat, T. D. Dongale // Journal of nano- and electronic physics. - 2019. - Vol. 11, no. 2. - С. 02015-1-02015-4. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnep_2019_11_2_17. Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |