Наведено результати досліджень роботи орбітронного гетерно-іонного вакуумного насоса (ОПН) з азотною кріопанеллю. Запропоновано розраховані середні значення питомих швидкостей відкачування різних газів плівкою титану. Особливістю ОПН є те, що в ньому електрони емітовані термокатодом використовуються як для розігріву і сублімації Ti, так і для іонізації газових молекул. Активні гази відкачуються завдяки хемосорбції неперервно відновлюваної титанової плівки, інертні гази - внаслідок іонізації їх атомів електронами, що рухаються у порожнині насоса, подальшого прискореного руху утворених іонів до стінки корпусу насоса їх імплантацією в титанову плівку й "замуровуванням" у ній атомів Ti, що осідають. Тими ж прискореними електронами іонізується і певна частина молекул активних газів та молекули важких вуглеводнів, які також сорбуються титановою плівкою. Описано конструктивні особливості ОПН та режими його роботи. За допомогою мас-спектрометра МХ7304А вивчено склад залишкової атмосфери вакуумної камери за її відкачування до надвисокого вакууму залежно від режимів роботи ОПН. Установлено, щр основною особливістю мас-спектрів залишкової атмосфери вакуумної камери у разі її відкачування ОПН є повна відсутність у мас-спектрах піків з M >> 44 а.о.м. (молекул важких вуглеводнів). Основною складовою залишкової атмосфери за водяного охолодження ОПН є метан СН4, кількість якого і визначає граничний вакуум у камері. У разі використання азотної кріопанелі основною складовою залишкової атмосфери є водяна пара H2O. Зроблено висновок, що сконструйований ОПН з азотною кріопанеллю є ефективним відкачуючим засобом для створення надвисокого безмасляного вакууму в металевих вакуумних установках, які повністю прогріваються.

  Повний текст PDF - 520.189 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"