Протягом останніх десятиліть плівки карбіду титану використовуються як матеріали для покриттів. Карбід титану проявляє чудові механічні та хімічні властивості, такі як висока температура плавлення, твердість і гарна хімічна та термічна стабільність. Плівки карбіду титану наносилися на скляні та монокристалічні кремнієві підкладки за методом іонно-плазмового магнетронного розпилення за постійного струму з об'єднаної мішені графіт/титан. Плівки карбіду титану з різними співвідношеннями C/Ti можуть бути нанесені за допомогою методу магнетронного розпилення за постійного струму з використанням титанових листів в області ерозії графітової мішені як джерела твердого вуглецю. Залежно від утворення фази карбіду титану вивчено залежність температури підкладки (150, 250, 350, та <$E450~symbol Р roman C>) за допомогою методу рентгеноструктурного аналізу та раманівської спектроскопії. Зразки досліджено з застосуванням двох різних раманівських спектрометрів: AFM-Raman instrument Solver Spectrum (NT-MDT) з 473 нм лазером і NTegra Spectra (NT-MDT) з 473 і 633 нм лазерами. Стехіометрію осаджених плівок визначено за допомогою енергодисперсійного рентгенівського спектроскопічного аналізу.

  Повний текст PDF - 463.281 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"