Досліджено вплив основних фізичних і технологічних факторів структурного проектування (товщина шару, тиск атмосфери та потенціал відхилення) на структурно-фазовий стан оболонок NbN/Cu. Встановлено, що у разі збільшення товщини шарів нітриду ніобію від 8 до 10 нм (в багатошаровій композиції NbN/Cu) відбувається зміна фазового складу від метастабільного <$Edelta>-NbN (кубічна кристалічна решітка, структурний тип NaCl) до рівноважної <$Eepsilon>-NbN фази з гексагональної кристалічною решіткою. За низького тиску <$EP sub N ~=~7~cdot~10 sup -4> Торр в тонких шарах (товщиною близько 8 нм) незалежно від Ub відбувається формування <$Edelta>-NbN фази. Причиною стабілізації цієї фази може бути однотипність металевої ГЦК кристалічної решітки <$Edelta>-NbN фази з кристалічною решіткою Cu. У разі збільшення тиску від <$EP sub N ~=~7~cdot~10 sup -4> Торр до <$E3~cdot~10 sup -3> Topp відбувається утворення більш рівноважної <$Eepsilon>-NbN фази з гексагональної кристалічною решіткою. Збільшення потенціалу зміщення за осадженні від - 50 В до - 200 В в основному впливає на зміну переважної орієнтації зростання кристалітів. В тонких шарах <$Edelta>-NbN фази (близько 8 нм) формується текстура кристалів з віссю [100]. У шарах товщиною 40 - 120 нм переважно формуються кристаліти <$Eepsilon>-NbN фази з площиною гексагональної решітки (001), паралельною площині зростання. За найбільшої товщини шарів (більше 250 нм) відбувається переважне формування кристалітів <$Eepsilon>-NbN фази з площиною гексагональної решітки (110), паралельною площині зростання. Одержані результати показують великі можливості структурної інженерії в нітриді ніобію за його використання як складового шару багатошарової періодичної системи NbN/Cu.

  Повний текст PDF - 525.557 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"