Проведен анализ возможных структурных состояний, определяемых неравновесностью процессов при вакуумно-плазменных методах получения покрытий фаз внедрения. Показано, что неравновесные условия осаждения из ионно-плазменных потоков значительно расширяют спектр возможных структурных состояний формируемого материала: от аморфоподобного до высокоупорядоченного кристаллического. Высокая скорость термализации определяет формирование фаз с кубической кристаллической решеткой (в большинстве случаев структурного типа NaCl). На примерах W - C и Ta - N систем с гексагональным типом решетки в равновесном состоянии показаны условия и механизм перехода из метастабильного состояния с кубической решеткой в равновесное с гексагональной кристаллической решеткой. Переход осуществляется путем диффузионно-сдвигового превращения с образованием дефектов упаковки в чередовании наиболее плотноупакованных плоскостей вдоль оси [111]. Образованию дефектов упаковки способствует малая область сдвига в нанокристаллических материалах и наличие вакансий, а само превращение сдвигом (через образование дефектов упаковки) сопровождается резкой релаксацией структурных напряжений. Исходя из критерия атомной подвижности обсуждены механизмы структурных преобразований в вакуумно-плазменных покрытиях и необходимые физико-технологическне условия для направленных структурных изменений на стадии осаждения и высокотемпературного отжига.

  Повний текст PDF - 564.311 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"