Досліджено структурні властивості та енергетичну щілину Si - C - N плівок, осаджених за допомогою плазмохімічного методу з гексаметилдісилазану, в інтервалі температур <$E200~-~700~symbol Р roman C>. Плівки було одержано на кремнієвих і скляних підкладках, що надало змогу провести рентгеноструктурне дослідження та вивчити спектри інфрачервоного (FTIR) і оптичного пропускання. Представлення широкої смуги FTIR спектрів у вигляді гаусіан свідчить, що основний внесок роблять коливання Si - C, Si - N і Si - O зв'язків. Показано, що з підвищенням температури відбувається інтенсивна ефузія водню з плівок. Енергетична щілина зменшується з 2,3 до 1,6 еВ зі зміною температури підкладки з <$E200~-~700~symbol Р roman C>.

  Повний текст PDF - 541.212 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"