Особливості напруженого стану германієвих нанокристалів в матриці SiOx

Курилюк, В. В.; Коротченков, О. О.; Цибрій, З. Ф.; Ніколенко, А. С.; Стрельчук, В. В.


	Наукова періодика України		Journal of Nano- and Electronic Physics

Курилюк В. В.
Особливості напруженого стану германієвих нанокристалів в матриці SiOx / В. В. Курилюк, О. О. Коротченков, З. Ф. Цибрій, А. С. Ніколенко, В. В. Стрельчук // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 1. - С. 01029-1-01029-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_1_31

З використанням ІЧ Фур'є-спектроскопії, раманівського розсіювання та комп'ютерного моделювання досліджено особливості механічних напружень в германієвих нанокристалах, синтезованих в аморфній матриці SiOx з буферним шаром SixNy. Встановлено, що германієві нанокристали зазнають суттєвих напружень стиснення величиною до 2,9 ГПа. Високі значення деформацій пояснюються частковим проникненням нанокристалів у кремнієву підкладку. Основним джерелом механічних напружень в цьому випадку слугує невідповідність решіток кремнію та германію.

Повний текст PDF - 501.059 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Курилюк В. В. Особливості напруженого стану германієвих нанокристалів в матриці SiOx / В. В. Курилюк, О. О. Коротченков, З. Ф. Цибрій, А. С. Ніколенко, В. В. Стрельчук // Журнал нано- та електронної фізики. - 2015. - Т. 7, № 1. - С. 01029-1-01029-5. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2015_7_1_31.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Курилюк Василь Васильович (фізико-математичні науки)

Коротченков Олег Олександрович (1958–) (фізико-математичні науки)

Цибрій Зіновія Федорівна (фізико-математичні науки)

Ніколенко Андрій Сергійович (фізико-математичні науки)

Стрельчук Віктор Васильович (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача