Досліджено вплив температури підкладкотримача в інтервалі температур (<$E40~-~400~symbol Р roman C>) на властивості Si - C - N плівок, осаджених за плазмохімічним методом з гексаметилдісилазану. Проведено дослідження структури, картини хімічних зв'язків, морфології поверхні, механічних властивостей та енергетичної щілини з використанням рентгенівської дифрактометрії, інфрачервоної спектроскопії, рентгенівської фотоелектронної спектроскопії, атомно-силового мікроскопу, наноіндетування та оптичним поглинанням. Встановлено, що всі плівки є рентгеноаморфними і мають низьку шорсткість поверхні. З підвищенням температури підкладкотримача до <$E400~symbol Р roman C> відбувається інтенсивна ефузія водню з плівок, що сприяє зменшенню шорсткості, а також збільшенню твердості та модуля пружності плівок.

  Повний текст PDF - 595.758 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"