Мультифрактальное исследование микрогеометрии поверхности (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N нитридных покрытий

Погребняк, А. Д.; Борисюк, В. Н.; Багдасарян, А. А.; Максакова, О. В.; Смирнова, Е. В.


	Наукова періодика України		Journal of Nano- and Electronic Physics

Погребняк А. Д.
Мультифрактальное исследование микрогеометрии поверхности (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N нитридных покрытий / А. Д. Погребняк, В. Н. Борисюк, А. А. Багдасарян, О. В. Максакова, Е. В. Смирнова // Журнал нано- та електронної фізики. - 2014. - Т. 6, № 4. - С. 04018-1-04018-4. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2014_6_4_20

Проведено качественное исследование морфологии (Ti - Hf - Zr - V - Nb)N нитридных покрытий в зависимости от потенциала смещения подложки. Для количественного анализа изменения микроскопических неоднородностей применялся двумерный мультифрактальный флуктуационный анализ. Расчет статистических параметров (обобщенный показатель Херста и мультифрактальный спектр) указывает на соответствие теоретических расчетов и экспериментальных исследований, а именно сглаживание поверхности покрытия с увеличением энергии ионов.

Повний текст PDF - 534.259 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Погребняк А. Д. Мультифрактальное исследование микрогеометрии поверхности (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N нитридных покрытий / А. Д. Погребняк, В. Н. Борисюк, А. А. Багдасарян, О. В. Максакова, Е. В. Смирнова // Журнал нано- та електронної фізики. - 2014. - Т. 6, № 4. - С. 04018-1-04018-4. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2014_6_4_20.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Погребняк Анатолій Дмитрович (фізико-математичні науки)

Багдасарян Артем Анатолійович (фізико-математичні науки)

Максакова Ольга Василівна (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача