Наукова періодика України Journal of Nano- and Electronic Physics

Kurochka A. 
Features of Electronic Emission from Surface of Dielectric Thin-film Materials with Ion-beam Etching / A. Kurochka, A. Sergienko, S. Kurochka, V. Kolybelkin // Журнал нано- та електронної фізики. - 2014. - Т. 6, № 3. - С. 03031-1-03031-3. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2014_6_3_33
This work presents a series of experimental studies aimed at validating the main theoretical aspects of the ion-electron emission in conditions of ion-beam etching and lookup the possibility of practical realization of the method of operative control processes ion-beam etching different dielectric thin film materials of electronic technics. In the real article the estimation of influence of the pointed superficial potential is conducted in dielectric tape on the integral signal of secondary electrons at an ionic etch. The electric field strength in dielectric film under the influence of the induced potential creates prerequisites for the emergence of "Malterovskay" emission, defined by properties actually dielectric and properties of the substrate.
  Повний текст PDF - 373.407 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Kurochka A.
  • Sergienko A.
  • Kurochka S.
  • Kolybelkin V.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Kurochka A. Features of Electronic Emission from Surface of Dielectric Thin-film Materials with Ion-beam Etching / A. Kurochka, A. Sergienko, S. Kurochka, V. Kolybelkin // Журнал нано- та електронної фізики. - 2014. - Т. 6, № 3. - С. 03031-1-03031-3. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2014_6_3_33.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського