Наукова періодика України | Journal of Nano- and Electronic Physics | ||
Бондаренко М. О. Механізм виникнення та нейтралізація залишкової трибоелектрики при скануванні кремнієвим зондом атомно-силового мікроскопу діелектричних поверхонь / М. О. Бондаренко, С. О. Білокінь, В. С. Антонюк, Ю. Ю. Бондаренко // Журнал нано- та електронної фізики. - 2014. - Т. 6, № 2. - С. 02018(5). - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2014_6_2_20 Встановлено причини та наведено механізм руйнівної дії сил електростатичної взаємодії кремнієвого зонду з діелектричними поверхнями під час дослідження їх мікрогеометрії та механічних характеристик за методом атомно-силової мікроскопії. Проведено розрахунок сил електростатичної взаємодії 22-х кремнієвих поверхонь та визначено руйнівну дію електростатичного розряду, що виникає внаслідок трибоелектричного ефекту. Запропоновано модуль зняття електростатичного заряду, принцип роботи якого полягає у формуванні зони провідності в місці контакту 2-х діелектриків шляхом багатофотонної іонізації. Показано, що застосування такого способу нейтралізації залишкової трибоелектрики підвищує точність, надійність та відтворюваність результатів сканування. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Бондаренко М. О. Механізм виникнення та нейтралізація залишкової трибоелектрики при скануванні кремнієвим зондом атомно-силового мікроскопу діелектричних поверхонь / М. О. Бондаренко, С. О. Білокінь, В. С. Антонюк, Ю. Ю. Бондаренко // Журнал нано- та електронної фізики. - 2014. - Т. 6, № 2. - С. 02018(5). - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2014_6_2_20.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |