Наукова періодика України Journal of Nano- and Electronic Physics


Бондаренко М. О. 
Механізм виникнення та нейтралізація залишкової трибоелектрики при скануванні кремнієвим зондом атомно-силового мікроскопу діелектричних поверхонь / М. О. Бондаренко, С. О. Білокінь, В. С. Антонюк, Ю. Ю. Бондаренко // Журнал нано- та електронної фізики. - 2014. - Т. 6, № 2. - С. 02018(5). - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2014_6_2_20
Встановлено причини та наведено механізм руйнівної дії сил електростатичної взаємодії кремнієвого зонду з діелектричними поверхнями під час дослідження їх мікрогеометрії та механічних характеристик за методом атомно-силової мікроскопії. Проведено розрахунок сил електростатичної взаємодії 22-х кремнієвих поверхонь та визначено руйнівну дію електростатичного розряду, що виникає внаслідок трибоелектричного ефекту. Запропоновано модуль зняття електростатичного заряду, принцип роботи якого полягає у формуванні зони провідності в місці контакту 2-х діелектриків шляхом багатофотонної іонізації. Показано, що застосування такого способу нейтралізації залишкової трибоелектрики підвищує точність, надійність та відтворюваність результатів сканування.
  Повний текст PDF - 602.158 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Бондаренко М.
  • Білокінь С.
  • Антонюк В.
  • Бондаренко Ю.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Бондаренко М. О. Механізм виникнення та нейтралізація залишкової трибоелектрики при скануванні кремнієвим зондом атомно-силового мікроскопу діелектричних поверхонь / М. О. Бондаренко, С. О. Білокінь, В. С. Антонюк, Ю. Ю. Бондаренко // Журнал нано- та електронної фізики. - 2014. - Т. 6, № 2. - С. 02018(5). - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2014_6_2_20.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Бондаренко Юлія Юріївна (фізико-математичні науки)
  • Бондаренко Юрій Юрійович (фізико-математичні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського