| Наукова періодика України |
| Journal of Nano- and Electronic Physics |
Voznyi V. Development of the RF Ion Sources for Focused Ion Beam Accelerators / V. Voznyi, V. Miroshnichenko, S. Mordyk, D. Shulha, V. Storizhko, V. Tokman // Журнал нано- та електронної фізики. - 2013. - Т. 5, № 4(2). - С. 04060-1-04060-6. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2013_5_4%282%29__16 Представлены результаты исследований ионных источников, разработанных в ИПФ НАН Украины, для получения высокояркостных ионных пучков с малым энергетическим разбросом. Проведено исследование ряда ионных ВЧ-источников, работающих на частоте 27,12 МГц: индуктивного ВЧ-источника, геликонного источника, мультикаспового ВЧ-источника и распылительного ВЧ-источника ионов металлов. Для расчета плазменных параметров ВЧ-источников рассмотрены глобальная и трансформаторная модели разряда. Проведены измерения энергетического разброса, массового состава и плотности тока некоторых источников в широком диапазоне ВЧ-мощности, вытягивающего напряжения и давления рабочего газа. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Voznyi V. Development of the RF Ion Sources for Focused Ion Beam Accelerators / V. Voznyi, V. Miroshnichenko, S. Mordyk, D. Shulha, V. Storizhko, V. Tokman // Журнал нано- та електронної фізики. - 2013. - Т. 5, № 4(2). - С. 04060-1-04060-6. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2013_5_4(2)__16.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця" |
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
|||||
