Перетворення в субмоношарових покриттях хрому та титану на поверхні Sі (001)

Бутарєв, К. О.; Коваль, І. П.; Лень, Ю. А.; Находкін, М. Г.


	Наукова періодика України		Journal of Nano- and Electronic Physics

Бутарєв К. О.
Перетворення в субмоношарових покриттях хрому та титану на поверхні Sі (001) / К. О. Бутарєв, І. П. Коваль, Ю. А. Лень, М. Г. Находкін // Журнал нано- та електронної фізики. - 2013. - Т. 5, № 1(2). - С. 01025-1-01025-4. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2013_5_1%282%29__12

Проведено дослідження перетворень в покриттях Ti та Cr (~ 1 - 3 нм) на поверхні Si (001) при кімнатній температурі до та після відпалу при 450^o C. Виявлено, що після відпалу формуються острівцеві плівки. Встановлено, що стехіометрія одержаних острівців відповідає дисиліцидній структурі.

Повний текст PDF - 371.675 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Бутарєв К. О. Перетворення в субмоношарових покриттях хрому та титану на поверхні Sі (001) / К. О. Бутарєв, І. П. Коваль, Ю. А. Лень, М. Г. Находкін // Журнал нано- та електронної фізики. - 2013. - Т. 5, № 1(2). - С. 01025-1-01025-4. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2013_5_1(2)__12.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Лень Юрій Анатолійович (фізико-математичні науки)

Находкін Микола Григорович (1925–2018) (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача