Наукова періодика України | Journal of Nano- and Electronic Physics | ||
Бутарєв К. О. Перетворення в субмоношарових покриттях хрому та титану на поверхні Sі (001) / К. О. Бутарєв, І. П. Коваль, Ю. А. Лень, М. Г. Находкін // Журнал нано- та електронної фізики. - 2013. - Т. 5, № 1(2). - С. 01025-1-01025-4. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2013_5_1%282%29__12 Проведено дослідження перетворень в покриттях Ti та Cr (~ 1 - 3 нм) на поверхні Si (001) при кімнатній температурі до та після відпалу при 450o C. Виявлено, що після відпалу формуються острівцеві плівки. Встановлено, що стехіометрія одержаних острівців відповідає дисиліцидній структурі. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Бутарєв К. О. Перетворення в субмоношарових покриттях хрому та титану на поверхні Sі (001) / К. О. Бутарєв, І. П. Коваль, Ю. А. Лень, М. Г. Находкін // Журнал нано- та електронної фізики. - 2013. - Т. 5, № 1(2). - С. 01025-1-01025-4. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2013_5_1(2)__12.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |