| Наукова періодика України |
| Мікросистеми, Електроніка та Акустика |
Borisova A. Aluminum oxynitride dielectric films prepared by reactive sputtering / A. Borisova, A. Machulyansky, M. Rodionov, V. Smilyk, Y. Yakimenko // Electronics and communications. - 2015. - Т. 20, № 3. - С. 31-36. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/eisv_2015_20_3_6 Вивчено вплив на електрофізичні та хімічні властивочті діелектричних плівок оксинітриду алюмінію технологічних режимів їх формування методом реактивного магнетронного напилення. Досліджено методом ІЧ-спектроскопії, ОЖЕ-спектроскопії та електронної мікроскопії електронний та структурний склад синтезованих плівок. Обговорено властивості спектральних та електрофізичних параметрів (питомого опору, електричної міцності, термічної стабільності та хімічної стійкості) плівок. Надано рекомендації щодо режимів синтезу плівок з метою забезпечення оптимізації електрофізичних параметрів на задані експлуатаційні властивості. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Borisova A. Aluminum oxynitride dielectric films prepared by reactive sputtering / A. Borisova, A. Machulyansky, M. Rodionov, V. Smilyk, Y. Yakimenko // Electronics and communications. - 2015. - Т. 20, № 3. - С. 31-36. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/eisv_2015_20_3_6.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця" |
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
|||||
