Исследован униполярный импульсный разряд низкого давления (0,1 - 0,5 Торр) в CO2 в диапазоне частот 20 - 200 кГц при коэффициенте заполнения импульсов от 0,1 до 0,85 и амплитуде напряжения 600 - 1000 В. Обнаружено, что эффект усиления тока, наблюдавшийся ранее в среднечастотных импульсных разрядах в других газах, имеет место и для разряда в CO2 с коэффициентом усиления 1 - 2. При этом коэффициент усиления уменьшается с ростом тока разряда, как при увеличении амплитуды импульсного напряжения, так и при повышении давления углекислого газа. Показано, что форма осциллограммы тока импульсного разряда определяется в первую очередь длительностью плазменной фазы и почти не зависит от длительности фазы послесвечения. Обсужден физический механизм явления усиления тока в импульсном разряде. Сделан вывод о том, что важнейшим фактором в этом механизме является нагрев газа в разрядном промежутке в течение плазменной фазы разряда, который приводит к локальному падению концентрации нейтральных молекул газа и, как следствие, к снижению скорости ионизации.

  Повний текст PDF - 1.286 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"