Применение пористого анодного окисла кремния в производстве полупроводниковых приборов

Фролов, А. Н.; Крапивко, Г. И.; Марончук, А. И.; Самойлов, Н. А.


	Наукова періодика України		Біомедична інженерія та електроніка

Фролов А. Н.
Применение пористого анодного окисла кремния в производстве полупроводниковых приборов / А. Н. Фролов, Г. И. Крапивко, А. И. Марончук, Н. А. Самойлов. // Біомедична інженерія та електроніка. - 2017. - № 4. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/biomedengelec_2017_4_5

Повний текст PDF - 981.707 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Фролов А. Н. Применение пористого анодного окисла кремния в производстве полупроводниковых приборов / А. Н. Фролов, Г. И. Крапивко, А. И. Марончук, Н. А. Самойлов. // Біомедична інженерія та електроніка. - 2017. - № 4. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/biomedengelec_2017_4_5.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача