Одним из основных направлений в современном развитии инженерии поверхности является создание нанокомпозитной структуры, где среди ее компонентов находится хотя бы одна фаза с размером структурного элемента менее 100 нм. Наличие многофазности структуры с разнородными границами зерен создает препятствие росту их размера, что обеспечивает стабильность сформированной структуры покрытий. Исследован процесс формирования нанокомпозитного nc-TiC/a-C покрытия на подложках из стали 08Х18Н10Т, Х12М и титана ВТ1-0 методом магнетронного распыления мишеней из графита и титана. Для управления составом покрытия разработана расчетная методика предусматривающая изменения мощности магнетронного разряда с титановой мишенью при постоянной мощности разряда с графитовой мишенью, что обеспечило возможность получения покрытий в диапазоне составов 42,5 - 70 ат. % C и 57,5 - 30 ат. % Ti. Покрытия исследованы методами ренгеновской дифракции, рамановской спектроскопии, ренгеновской фотоэлетронной спектроскопии, микроиндентирования. Установлено, что 80% в структуре покрытия занимает фаза нанокристалличсского TiC и 20 % матрица аморфного углерода. Определено, что степень упорядоченности углерода зависит от состава покрытий. Показано, что размер зерна TiC и твердость покрытия зависят от отношения Ti/C. Минимальный размер зерна TiC (2,9 - 4,3 нм) и максимальная твердость (до 30 - 38 ГПа) достигаются при соотношении Ti/C (в ат. %) 46/54. Максимальная нормированная твердость Н/Е* = 0,134 являющаяся показателем сопротивления материала покрытия пластической деформации, достигнута на подложке из стали 08Х18Н10Т.

  Повний текст PDF - 855.543 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"