Досліджено фактори, що впливають на ефективність іонного очищення підкладок з бронзи БрАЖ9-4 і нержавіючої сталі 12Х18Н9Т при використанні дослідно-промислової установки "Вихрь-К". Установка оснащена інверсною магнетронною розпорошувальною системою з газовим анодом, секціонованими катодними вузлами та забезпечує створення радіальних потоків плазми. За допомогою растрового електронного мікроскопу "РЕМ 106" досліджено склад та морфологію поверхні підкладок та сформованих на них покриттів типу WC. Встановлено, що на ефективність проведення іонного очищення поверхні підкладок впливає величина потенціалу, під яким знаходяться катоди-мішені по відношенню до корпусу установки. За умов порівняно високого позитивного потенціалу очищення не відбувається взагалі. В той же час при низькому потенціалі спостерігається розпорошення матеріалу катодів-мішеней. Тому виникла потреба експериментально встановити режим іонного очищення підкладок з бронзи БрАЖ9-4 і нержавіючої сталі 12Х18Н9Т при використанні інверсної магнетронної розпорошувальної системи з газовим анодом, секціонованими катодними вузлами та радіальними потоками плазми, що забезпечить якісну очистку поверхонь підкладок без розпорошення катодів. Режим визначається величиною електроопору резисторів, які з'єднанні з катодними вузлами. Досліджено морфологію та склад поверхні різних ділянок підкладок з бронзи та сталі, як після їх іонного очищення, так і з нанесеним покриттям типу карбіду вольфраму. Встановлено, що на відміну від покриттів, сформованих за допомогою вказаної системи з осьовими потоками плазми, при використанні радіальних потоків відсутня залежність морфології поверхні покриттів від віддаленості досліджуваної ділянки покриття відносно краю підкладки. Можливо, це пов'язано з характеристиками електричного поля та потоків плазми поблизу як катодів-мішеней, так і металевих підкладок. Отже при формуванні покриттів типу WC на металевих підкладках за допомогою магнетронних розпорошувальних систем існують певні переваги використання радіальних потоків плазми порівняно з осьовими потоками.

  Повний текст PDF - 2.756 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"