Показана необходимость разработки новых методов формирования двух- и трехмерных функционально-градиентных покрытий. Сделан вывод о перспективности использования для решения стоящей задачи установок на основе инверсной магнетронной распылительной системы с газовым анодом, секционированными катодными узлами и осевыми потоками плазмы. Приведены и проанализированы результаты расчетно-аналитического эксперимента по выявлению влияния степени секционирования катодного узла исследуемой распылительной системы на возможность управления составом получаемых покрытий в различных точках на поверхности подложки. Даны рекомендации по выбору расположения секционированных катодов-мишеней в разрядном промежутке.

  Повний текст PDF - 1.058 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"