Рассмотрены методы получения алмазоподобных покрытий. Проведен анализ вакуумных методов осаждения <$E alpha>-C-слоев и указаны преимущества импульсного вакуумно-дугового метода. Показано, что управление характеристиками разряда и, следовательно, свойствами осаждаемого алмазоподобного углерода реализуется с помощью разрядного контура формирующей линии. Описан температурный режим подложки при импульсном нанесении <$E alpha>-C-покрытий. Обоснованы выбор импульсного ускорителя плазмы для технологических целей и необходимость разработки технологии синтеза алмаза и алмазоподобных структур.

  Повний текст PDF - 682.452 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"