Наукова періодика України Збірник наукових праць Військового інституту Київського національного університету імені Тараса Шевченка

Кошовий М. Д. 
Двопараметрична оптимізація плану експерименту при дослідженні поверхні кремнію в процесах глибокого плазмохімічного травлення МЄМС / М. Д. Кошовий, Г. В. Малкова // Збірник наукових праць Військового інституту Київського національного університету імені Тараса Шевченка. - 2021. - № 70. - С. 42-48. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Znpviknu_2021_70_6
  Повний текст PDF - 1.067 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Кошовий М.
  • Малкова Г.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Кошовий М. Д. Двопараметрична оптимізація плану експерименту при дослідженні поверхні кремнію в процесах глибокого плазмохімічного травлення МЄМС / М. Д. Кошовий, Г. В. Малкова // Збірник наукових праць Військового інституту Київського національного університету імені Тараса Шевченка. - 2021. - № 70. - С. 42-48. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Znpviknu_2021_70_6.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського