Наукова періодика України | Вісник Житомирського державного технологічного університету | ||
Новицький С. В. Катодні контакти з дифузійними бар’єрами ТіВх для діодів Ганна на основі InP / С. В. Новицький // Вісник Житомирського державного технологічного університету. Серія : Технічні науки. - 2014. - № 4. - С. 53-56. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vzhdtu_2014_4_9 Досліджено фізичні процеси, що відбуваються під дією зовнішніх впливів у багатошарових омічних контактах до n-InP з дифузійним бар'єром TiBx. Зазначено, що в зовнішніх впливах використовувалися мікрохвильова обробка, швидка термічна обробка (ШТО) та γ-опромінення 60Co. Встановлено, що омічні контакти Au - TiBx - Ge - Au - n - n+ - n++ - InP, сформовані магнетронним напиленням з наступною ШТО за температури 450 °С, зберігають свою структуру та величину питомого контактного опору за робочих температур діода Ганна. Під дією γ-опромінення 60Co до дози 107 Гр в контактах, заздалегідь підданих ШТО за Т = 400 °С, спостерігаються процеси деградації внаслідок дифузії кисню крізь плівку TiBx. Вперше одержано зростаючу температурну залежність питомого контактного опору омічного контакту Au - Ge - TiBx - Au до n - n+ - n++ - InP в діапазоні температур 80 - 380 К, яку пояснено струмопроходженням по металевих шунтах, які проросли крізь дислокації та замикають ОПЗ, з урахуванням обмеження протікаючого струму дифузійним підведенням електронів. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Новицький С. В. Катодні контакти з дифузійними бар’єрами ТіВх для діодів Ганна на основі InP / С. В. Новицький // Вісник Житомирського державного технологічного університету. Серія : Технічні науки. - 2014. - № 4. - С. 53-56. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vzhdtu_2014_4_9.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |