Математичне моделювання процесу легування напівпровідникових структур домішками методом високоенергетичної імплантації

Левінзон, Д. І.; Притчин, С. Е.; Ніконов, А. Ю.


	Наукова періодика України		Вісник Кременчуцького національного університету імені Михайла Остроградського

Левінзон Д. І.
Математичне моделювання процесу легування напівпровідникових структур домішками методом високоенергетичної імплантації / Д. І. Левінзон, С. Е. Притчин, А. Ю. Ніконов // Вісник Кременчуцького національного університету імені Михайла Остроградського. - 2014. - Вип. 3. - С. 14-18. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vkdpu_2014_3_4

Повний текст PDF - 360.218 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Левінзон Д.

Притчин С.

Ніконов А.

Бібліографічний опис для цитування:

Левінзон Д. І. Математичне моделювання процесу легування напівпровідникових структур домішками методом високоенергетичної імплантації / Д. І. Левінзон, С. Е. Притчин, А. Ю. Ніконов // Вісник Кременчуцького національного університету імені Михайла Остроградського. - 2014. - Вип. 3. - С. 14-18. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vkdpu_2014_3_4.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Левінзон Давид Ідєлевич (1935–) (технічні науки)

Притчин Сергій Емільович (технічні науки)

Ніконов Андрій Юрійович (технічні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача