Наукова періодика України Eastern-European journal of enterprise technologies

Novosiadlyi S. 
Development of technology of superconducting multilevel wiring in speed gaas structures of LSI/VLSI / S. Novosiadlyi, M. Kotyk, B. Dzundza, V. Gryga, S. Novosiadlyi, V. Mandzyuk // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2018. - № 1(5). - С. 53-62. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2018_1%285%29__8
Розглянуто технологічні аспекти використання надпровідних матеріалів і показано можливість виготовлення мішеней для магнетронного осадження плівок для формування кріопровідної розводки в структурах ВІС на основі GaAs. Визначено технологічні методи та режими осадження та розроблено високоефективну технологію виготовлення кріосплавів на основі Al, Nb, V з домішками Si, Ge та РЗМ і магнетронного формування надпровідних плівок із сплавів алюмінію, ніобію та ванадію.
  Повний текст PDF - 1.625 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Novosiadlyi S.
  • Kotyk M.
  • Dzundza B.
  • Gryga V.
  • Novosiadlyi S.
  • Mandzyuk V.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Novosiadlyi S. Development of technology of superconducting multilevel wiring in speed gaas structures of LSI/VLSI / S. Novosiadlyi, M. Kotyk, B. Dzundza, V. Gryga, S. Novosiadlyi, V. Mandzyuk // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2018. - № 1(5). - С. 53-62. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2018_1(5)__8.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського