Наукова періодика України Eastern-European journal of enterprise technologies

Червоный И. Ф. 
Исследование микронеоднородности распределения примеси в монокристаллах кремния / И. Ф. Червоный, О. П. Головко // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2015. - № 6(5). - С. 41-47. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2015_6%285%29__8
Проанализировано образование стратовой неоднородности за счет накопления примеси в расплаве у фронта кристаллизации при выращивании монокристаллов кремния и рассмотрена модель ускоренной кристаллизации этой области расплава. Для устранения или значительного снижения условий образования страт, предложено применять режимы выращивания монокристаллов при высоких скоростях, что исключит накопление примеси у фронта кристаллизации и обеспечит однородное ее распределение по объему монокристалла.
  Повний текст PDF - 783.728 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Червоный И.
  • Головко О.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Червоный И. Ф. Исследование микронеоднородности распределения примеси в монокристаллах кремния / И. Ф. Червоный, О. П. Головко // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2015. - № 6(5). - С. 41-47. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2015_6(5)__8.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського