Наукова періодика України Eastern-European journal of enterprise technologies


Новосядлий С. П. 
Розробка технології багатозарядної іонної імплантації GaAs для субмікронних структур великих інтегральних схем / С. П. Новосядлий, С. І. Бойко, Л. В. Мельник, С. В. Новосядлий // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2015. - № 6(5). - С. 32-40. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2015_6%285%29__7
Розроблено технологію виготовлення іонно-легованих структур GaAs. Імплантацію іонів кремнію, берилію, цинку проведено в підкладку із напівізолювального арсеніду галію марки АГЧП-2а. Імплантація домішки через капсулювальне покриття надало можливість одержати досить високі значення рухливості носіїв струму в каналах польового транзистора Шотткі, що надає можливість формувати на них КМОН-структури. Застосування багатозарядної імплантації та імпульсного фотонного відпалу для активації n⁺-областей витоку і стоку забезпечило рівень ретроградного легування стік-витокових контактів на рівні (2 - 5)x10¹⁸см⁻³.
  Повний текст PDF - 952.289 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Новосядлий С.
  • Бойко С.
  • Мельник Л.
  • Новосядлий С.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Новосядлий С. П. Розробка технології багатозарядної іонної імплантації GaAs для субмікронних структур великих інтегральних схем / С. П. Новосядлий, С. І. Бойко, Л. В. Мельник, С. В. Новосядлий // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2015. - № 6(5). - С. 32-40. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2015_6(5)__7.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Новосядлий Степан Петрович (технічні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського