Наукова періодика України Eastern-European journal of enterprise technologies

Новосядлий С. П. 
Впровадження плазмохімічного травлення в субмікронну технологію структур інтегральних схем / С. П. Новосядлий, Л. В. Мельник, С. В. Новосядлий // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2015. - № 3(5). - С. 21-24. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2015_3%285%29__5
Зазначено, що у процесі освоєння діапазону суб- і наномікронних елементів інтегральних схем виникає ряд проблем, яких або взагалі не було під час розробки технології виготовлення з мінімальними розмірами елементів більше 0,8 мкм, або вони не були значними. Розкрито перспективу та альтернативу використання субмікронної технології плазмохімічного травлення та впровадження її у виробництво.
  Повний текст PDF - 451.613 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Новосядлий С.
  • Мельник Л.
  • Новосядлий С.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Новосядлий С. П. Впровадження плазмохімічного травлення в субмікронну технологію структур інтегральних схем / С. П. Новосядлий, Л. В. Мельник, С. В. Новосядлий // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2015. - № 3(5). - С. 21-24. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2015_3(5)__5.
    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Новосядлий Степан Петрович (технічні науки)
    •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського