Особливості технології кремній- та арсенід галію на ізоляторі

Новосядлий, С. П.; Мельник, Л. В.


	Наукова періодика України		Eastern-European journal of enterprise technologies

Новосядлий С. П.
Особливості технології кремній- та арсенід галію на ізоляторі / С. П. Новосядлий, Л. В. Мельник // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2014. - № 6(9). - С. 26-31. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2014_6%289%29__6

Розглянуто фізичні основи способів створення структур кремній на ізоляторі та арсенідгалію на ізоляторі за допомогою різних методів. Розглянуто метод "DeleCut" (ion irradiated Deleted oxide Out). Останній по суті справи є модифікацією відомого методу "SmartCut" і призначений для усунення недоліку базового методу.

Повний текст PDF - 531.845 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Новосядлий С.

Мельник Л.

Бібліографічний опис для цитування:

Новосядлий С. П. Особливості технології кремній- та арсенід галію на ізоляторі / С. П. Новосядлий, Л. В. Мельник // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2014. - № 6(9). - С. 26-31. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2014_6(9)__6.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Новосядлий Степан Петрович (технічні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача