Наукова періодика України Eastern-European journal of enterprise technologies

Берченко М. М. 
Дослідження поверхні пористого кремнію мас-спектроскопією вторинних іонів / М. М. Берченко, В. Ю. Єрохов, С. І. Нічкало, Є. І. Бережанський // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2014. - № 6(11). - С. 41-45. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2014_6%2811%29__9
За допомогою методів мас-спектрометрії вивчено кремнієві поверхні мультикристалічних підкладок для фотоелектричних перетворювачів, одразу після формування пористого кремнію та наступної гідрогенізації. Одержано мас-спектроскопічні характеристики кремнієвих поверхонь та їх 2D-іонні зображення, одержані на мас-спектрометрі TOF5 SIMS за допомогою струму вторинних іонів CH3+. Наведено результати дослідження поверхні кремнію до та після електрохімічного травлення по створенню шару пористого кремнію.
  Повний текст PDF - 919.488 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Берченко М.
  • Єрохов В.
  • Нічкало С.
  • Бережанський Є.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Берченко М. М. Дослідження поверхні пористого кремнію мас-спектроскопією вторинних іонів / М. М. Берченко, В. Ю. Єрохов, С. І. Нічкало, Є. І. Бережанський // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2014. - № 6(11). - С. 41-45. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2014_6(11)__9.
    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Єрохов Валерій Юрійович (технічні науки)
  • Нічкало Степан Ігорович (технічні науки)
    •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського