Вплив арсенідгелієвої технології на формування структур інтегральних схем

Новосядлий, С. П.; Мельник, Л. В.


	Наукова періодика України		Eastern-European journal of enterprise technologies

Новосядлий С. П.
Вплив арсенідгелієвої технології на формування структур інтегральних схем / С. П. Новосядлий, Л. В. Мельник // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2014. - № 3(5). - С. 25-32. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2014_3%285%29__6

Мета роботи - визначення взаємозв'язку межі розділу на вибір технології формування швидкодіючих структур ВІС на основі арсеніду галію та високоефективних приладних структур. Технологія формування структур таких приладів повинна забезпечувати необхідну стабільність структури міжфазної межі та можливість одержання високоякісних шарів на великій площі підкладок (діаметром >> 100 мм).

Повний текст PDF - 1.156 Mb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Новосядлий С.

Мельник Л.

Бібліографічний опис для цитування:

Новосядлий С. П. Вплив арсенідгелієвої технології на формування структур інтегральних схем / С. П. Новосядлий, Л. В. Мельник // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2014. - № 3(5). - С. 25-32. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2014_3(5)__6.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Новосядлий Степан Петрович (технічні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача