Фізико-технологічні особливості формування металізації субмікронних арсенідгалієвих структур іонним фрезеруванням

Новосядлий, С. П.; Кіндрат, Т. П.; Мельник, Л. В.; Варварук, В. М.


	Наукова періодика України		Eastern-European journal of enterprise technologies

Новосядлий С. П.
Фізико-технологічні особливості формування металізації субмікронних арсенідгалієвих структур іонним фрезеруванням / С. П. Новосядлий, Т. П. Кіндрат, Л. В. Мельник, В. М. Варварук // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2013. - № 4(5). - С. 3-6 . - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2013_4-5_2

Описано основи іонного фрезерування, методи іонно-променевої обробки в літографії, переваги та недоліки в порівнянні з іншими методами. Одержано структури ВІС на GaAs із другим рівнем металізації, виконаним за допомогою іонно-променевого травлення через маску з фоторезистом. Досліджено ефективність після імплантаційного відпалу іонним пучком в порівнянні з термічним відпалом.

Повний текст PDF - 434.293 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Новосядлий С. П. Фізико-технологічні особливості формування металізації субмікронних арсенідгалієвих структур іонним фрезеруванням / С. П. Новосядлий, Т. П. Кіндрат, Л. В. Мельник, В. М. Варварук // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2013. - № 4(5). - С. 3-6 . - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2013_4-5_2.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Новосядлий Степан Петрович (технічні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача