Наукова періодика України Eastern-European journal of enterprise technologies

Реков Ю. В. 
Оптимизация процесса выращивания кремниевых основ для производства поликристаллического кремния / Ю. В. Реков, И. Ф. Червоный, С. Г. Егоров, О. А. Кисарин, Р. Н. Воляр // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2011. - № 3(5). - С. 15-20. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2011_3%285%29__4
Рассмотрено влияние условий выращивания кремниевых основ на образование на их поверхности эпитаксиального слоя. Исключение образования на поверхности кремниевых основ эпитаксиальной пленки предложено путем проведения процесса плавки в газовой среде при давлении выше атмосферного.
  Повний текст PDF - 320.598 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Реков Ю.
  • Червоный И.
  • Егоров С.
  • Кисарин О.
  • Воляр Р.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Реков Ю. В. Оптимизация процесса выращивания кремниевых основ для производства поликристаллического кремния / Ю. В. Реков, И. Ф. Червоный, С. Г. Егоров, О. А. Кисарин, Р. Н. Воляр // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. - 2011. - № 3(5). - С. 15-20. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vejpte_2011_3(5)__4.
    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Реков Юрій Васильович (технічні науки)
    •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського