Наукова періодика України | Вісник Хмельницького національного університету | ||
Кравченко Ю. С. Оптичний актинометричний метод контролю плазмохімічних процесів в мікроелектронній технології / Ю. С. Кравченко, О. О. Селецька // Вісник Хмельницького національного університету. Технічні науки. - 2014. - № 6. - С. 256-261. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vchnu_tekh_2014_6_51 Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Кравченко Ю. С. Оптичний актинометричний метод контролю плазмохімічних процесів в мікроелектронній технології / Ю. С. Кравченко, О. О. Селецька // Вісник Хмельницького національного університету. Технічні науки. - 2014. - № 6. - С. 256-261. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vchnu_tekh_2014_6_51.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |