Наукова періодика України Вісник Хмельницького національного університету

Кравченко Ю. С. 
Оптичний актинометричний метод контролю плазмохімічних процесів в мікроелектронній технології / Ю. С. Кравченко, О. О. Селецька // Вісник Хмельницького національного університету. Технічні науки. - 2014. - № 6. - С. 256-261. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vchnu_tekh_2014_6_51
  Повний текст PDF - 650.877 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Кравченко Ю.
  • Селецька О.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Кравченко Ю. С. Оптичний актинометричний метод контролю плазмохімічних процесів в мікроелектронній технології / Ю. С. Кравченко, О. О. Селецька // Вісник Хмельницького національного університету. Технічні науки. - 2014. - № 6. - С. 256-261. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Vchnu_tekh_2014_6_51.
    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Селецька Олена Олександрівна (технічні науки)
    •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського